激光测振技术要基于微纳米技术的可靠传感器，那么微纳米技术的优势是什么呢？

　　精确、可靠且快速的测量技术，在微系统在研发和生产过程中的设备质量监测起决定性作用。越来越多的微型传感器被应用于安全相关的领域，这对可靠性和功能安全性均有很高要求，这就要求设计牢固，产品精度高。

　　采用纯电子器件不能满足微电机结构元件(如MEMS 致动器或传感器等)的振动测试需求，需要采用合适的光学测量方法。

　　有效测量晶片上的 MEMS

　　在芯片分离之前进行晶片级测试可在早期生产过程中排出坏芯片，维持 MEMS 低生产成本，同时保持高产出和质量水平。虽然这里电气试验是标准程序，但还需要开展一些测试任务直接验证机械性能，通常采用的是光学测量。