光谱共焦测量原理
光谱共焦法作为光学测量技术中用于测量距离与厚度的方法，已成为表面计量领域工业界和学术界成熟的方法之一。入射白光经色散透镜成像后，沿Z轴形成连续分布的单色光，从而对光轴进行“颜色编码”。当物体处于该彩色光场中时，单一波长的光会固定在其表面上，并被反射回光学系统。反向散射光束穿过滤波针孔，随后由光谱仪采集。通过计算光束的特定波长，即可精确确定表面在测量场中的位置。光谱共焦技术能够实现可靠、准确且可重复的高分辨率尺寸测量。
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- 白光干涉测量法
- 共焦显微镜
- 焦点变化法
- 色差共焦传感器
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