TopMap MicroView系列光学3D轮廓仪是一款功能强大的非接触式表面轮廓测量仪器，基于白光干涉原理，以最前沿的CSI与Corelogram相结合的CST技术为核心，是最新一代光学3D轮廓仪。TopMap MicroView系列光学3D轮廓仪拥有了无与伦比的测量能力，能够满足从超光滑到粗糙表面、从极深色、超低反射率到全反射表面等几乎所有表面轮廓的测量，并且在所有倍率物镜下都能提供亚纳米级测量精度，此外，TMS软件还能够提供基于ISO25178/1101/4287/13565/21920/12781和ASME B46等标准的多种参数分析与评价，例如，粗糙度、平面度、台阶高度、微观几何轮廓、波纹度等。

典型应用：

精密加工：粗糙度，微观结构，加工机理分析

光学元件制造：粗糙度，面型轮廓

半导体：晶圆磨抛，IC制造，微型器件

表面工程：摩擦学，涂层，缺陷，变形

3C电子：屏幕粗糙度，壳体表面质量

生物医疗：植入物粗糙度、轮廓

材料科学：材料结构、颜色