基本配置

面外振动最大频率为2.5 MHz

选配件

频率扩展

面外振动最大频率达25 MHz

差分测量

面外振动可进行差分测量

面内运动分析

面内振动测量

形貌测量

表面形貌测量

测量原理

激光多普勒原理

型号

MSA-600-M (标准)

MSA-600-V (带宽扩展)

最大频率

2.5 MHz

25 MHz

档位数量

13 个速度档位

13 个速度档位

最大振动速度

0.001   m/s …   10 m/s,与档位有关

0.001 m/s … 10 m/s,与档位有关

速度分辨率均值¹

0.005   (μm/s)/√Hz … 1 (μm/ s)/√Hz,

与档位和频率有关

0.005   (μm/s)/√Hz … 2 (μm/s)/√Hz,

与档位和频率有关

位移分辨率

50 fm/√Hz

50 fm/√Hz

面内振动测量

测量原理

频闪法

型号

MSA-600 带面内振动测量模块

带宽

1 Hz … 2.5 MHz

最大速度

> 0.1 m/s … 10 m/s（与镜头放大倍数有关）

镜头放大倍数²

1x … 100x

位移分辨率³

5 nm

时间分辨率

100 ns (频闪曝光时间); 频闪最大间隔时间   ±40 ns

系统输出

位移量、波特图、阶跃响应、衰减曲线、轨迹图等

型号

MSA-600 带形貌测量模块

垂直测量范围

250 μm

标称样本增量

80 nm

评估程序⁴

光滑表面

粗糙表面

分辨率(RMS) ⁵

45 pm

1.2 nm

单次测量分辨率(RMS)

300   pm

14 nm

可重复精度⁶

500   pm

20 nm

评估平整度偏差⁷

< 5 nm

< 50 nm

可溯源校准标准(PTB Type A1   (ISO 5436-1)

可重复精度⁸

0.07 %

扩展不确定度⁹

0.35 %

MSA-I-600 光学头

激光波长

532 nm

激光安全等级

class 3R (可见光输出小于5 mW)

照明光源波长

470 nm

照明光源安全等级

class 2 LED 灯(可见光输出小于20 mW)

摄像机

全场逐行扫描

摄像机分辨率

1732 x 1200 像素

摄像机帧速

最大 56 fps

A-MOB-001X

1

13

46

10.0 x 7.0

A-MOB-002X

2

34

23

5.1 x 3.5

A-MOB-005X

5

34

9.3

2.0 x 1.4

A-MOB-010X

10

33.5

4.6

1.0 x 0.7

A-MOB- 010B-LD

10

48.9

4.6

1.0 x 0.7

A-MOB-020X

20

20

2.3

0.51 x 0.35

A-MOB-050X

50

13

1.4

0.20 x 0.14

A-MOB-100X

100

6

0.8

0.10 x 0.07

A-IOB-02X5-B

2.5

10.3

Michelson

4.0 x 2.8

A-IOB-005X-B

5

9.3

2.0 x 1.4

A-IOB-010X-B

10

7.4

Mirau

1.0 x 0.7

A-IOB-020X-B  

20

4.7

0.51 x 0.35

A-IOB-050X-B

50

3.4

0.20 x 0.14

A-IOB-100X-B

100

2

0.10 x 0.07