MEMS系统的3D振动测量
实物的振动通常是三维振动。虽然可选择优先显示某特定方向的振动，但由于存在产品公差和其它影响，在其它空间方向也存在运动分量。 MSA-100-3D显微式激光测振仪可在大带宽范围内实时测量被测物体的动态特性，分辨率高，同时记录和分析XYZ三个方向的振动分量，每向的振幅分辨率均达到亚皮米级。
典型应用
· 惯性传感器，如加速度计和陀螺仪
· 微机电传感器和致动器 (MEMS)
· 打印机喷墨头
· 压力传感器薄膜
· 耳机、微型镜头等
MSA-100-3D 显微式测振仪
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