TopMap Pro.Surf系列产品,基于白光干涉原理,以最前沿的CSI与Corelogram相结合的CST技术为核心,是一款极具特点的光学3D轮廓仪。TopMap Pro.Surf系列光学3D轮廓仪集非接触、大视场、纳米级精度和70mm超大扫描范围等技术特点于一身,能够满足从光滑到粗糙表面、从极深色、超低反射率到全反射表面等几乎所有表面轮廓的测量,此外还能够提供基于ISO25178/1101/4287/13565/21920/12781和ASME B46等标准的多种参数分析与评价,如粗糙度、平面度、台阶高度、平行度、波纹度等,广泛应用于汽车工业、燃油喷射系统、传动、密封、光学加工、精密半导体及3C行业和航天、航空、国防军工和科研院所等领域。
典型应用:
半导体:衬底、外延片平坦度和形貌测量,精密器件及传感器
汽车行业:空气悬挂组件,精密传动组件,燃油喷射系统,高压油泵
密封行业:精密密封表面、泵阀类密封组件
表面工程:摩擦学,涂层厚度,形变分析
3C电子:电子元件平整度,引脚位置,屏幕平面度、厚度均匀性,印刷电路
手表:组件平面度、台阶高度、平行度、轮廓,表镜