超精密加工表面的形状与表面质量特征分析
超精密加工对表面质量和形状精度提出了极高的要求。亚微米级偏差和纳米级粗糙度会直接影响功能性、可靠性和使用寿命。
Polytec 光学三维表面测量技术能够对从金刚石车削到磨削、研磨和抛光等工艺中的形状、粗糙度及微观结构进行非接触式、大面积检测。可重复的测量数据可提供清晰的工艺反馈,并支持稳定、高质量的制造。
- 配备同轴光学系统的宏观测量系统,可在大视场(FOV)内更快地进行轮廓测量。
- 基于显微镜且配备聚焦光学系统的轮廓仪,可呈现更精细的结构细节,分辨率达亚纳米级。

单位面积表面分析是UPM质量的关键
仅凭传统的粗糙度参数无法全面描述超精密加工表面的功能性能。只有通过对材料分布进行面分析,才能可靠地了解其承载行为、接触力学和摩擦学性能。
TopMap 光学三维表面轮廓仪能够以高分辨率对表面形貌进行面域测量——无论是在实验室还是接近生产环境的条件下。基于这些数据,可推导出材料比例曲线(阿博特-菲尔斯通曲线),从而能够对表面结构进行差异化且细致入微的评估,其深度远超Ra 或Rz 等参数所能体现的范围。
在许多UPM应用中——例如金刚石车削、超精密磨削或抛光——通过控制颗粒的分布、尺寸和形状,可以有针对性地影响摩擦和接触行为。明确的材料分布有助于减少不必要的相对运动,最大限度地降低磨损,并提高功能可靠性。
TopMap 三维轮廓仪为这一方法提供了计量学基础:测量结果可重复、符合标准规范,并适用于超精密制造中的闭环工艺反馈。




用于形状、粗糙度及功能性表面检测的光学轮廓仪

三维光学轮廓仪
Micro.View 系列三维光学轮廓仪专为亚纳米级分辨率测量而优化。凭借聚焦光学系统与高垂直分辨率,可对微观结构、表面光洁度及材料分布进行精细分析——在最微小的偏差都可能影响性能的场景中,提供可靠的数据支撑。

大视场三维光学轮廓仪
Pro.Surf 可对大型工件及多样本料盘进行平面度、台阶高度与平行度检测——非接触、数秒完成。防碰撞远心光学系统可深入深孔内部进行测量,满足生产环节对精度与重复性的严苛要求。

Metro.Lab
Metro.Lab 是一款结构紧凑、大面积测量的表面轮廓仪。它将卓越的测量性能与小巧的占地面积相结合,非常适合在空间或预算受限的情况下,仍需获取可靠三维表面数据的应用场景。
不确定哪款轮廓仪适合您的任务?两份指南助您决策。
两份简明指南将带您完成关键决策:一份帮助您选择正确的测量技术,另一份帮助您确定合适的测量尺度——显微级还是宏观级。配合我们的”先试后买“服务,您还可以在实际工件上验证您的选择。












